Les céramiques techniques trouvent des applications dans
l'industrie des semi-conducteurs pour plusieurs raisons :
1. **Stabilité Thermique Élevée :** Les céramiques, telles que l'alumine et le
Carbure de silicium, présentent une excellente stabilité thermique, les rendant
adaptées à une utilisation dans le traitement des semi-conducteurs où des
températures élevées sont souvent impliquées.
2. **Propriétés d'Isolation Électrique :** De nombreuses céramiques sont
électriquement isolantes, ce qui est crucial dans la fabrication de
semi-conducteurs où un contrôle précis des propriétés électriques est requis.
Cela contribue à prévenir les conduction électrique indésirables et les
interférences.
3. **Résistance Chimique :** Les céramiques sont souvent résistantes aux
produits chimiques corrosifs, fournissant une barrière protectrice dans des
environnements où les matériaux semi-conducteurs peuvent être exposés à des
substances agressives lors du traitement.
4. **Résistance à l'Usure :** Les céramiques, y compris le Carbure de silicium,
sont connues pour leur grande résistance à l'usure. Cette propriété est
avantageuse dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs où les
composants peuvent être soumis à l'abrasion pendant les processus de
fabrication.
5. **Stabilité Dimensionnelle :** Les céramiques techniques ont généralement
des coefficients de dilatation thermique faibles, assurant une stabilité
dimensionnelle même lorsqu'elles sont exposées à des variations de température.
C'est important dans la fabrication de semi-conducteurs, où la précision et la
cohérence sont cruciales.
6. **Résistance Mécanique :** Les céramiques comme l'alumine et la zircone
possèdent une résistance mécanique élevée, leur permettant de résister aux
exigences physiques des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
7. **Inertie Chimique :** De nombreuses céramiques sont chimiquement inertes,
ce qui est bénéfique dans les applications semi-conductrices où la pureté des
matériaux est essentielle pour éviter la contamination des dispositifs
semi-conducteurs produits.
8. **Propriétés Diélectriques :** Les céramiques ont souvent d'excellentes
propriétés diélectriques, les rendant adaptées à l'isolation de composants dans
les dispositifs semi-conducteurs et les circuits électroniques.
9. **Céramiques Spécialisées pour le Traitement des
Semi-conducteurs :** Certaines céramiques, comme le nitrure d'aluminium, sont
spécifiquement conçues pour être utilisées dans les équipements de traitement
des semi-conducteurs en raison de leur combinaison d'isolation électrique, de
conductivité thermique et de compatibilité avec les matériaux semi-conducteurs.